
股票代碼:873816
深水牌超聲波水表是基于MEMS技術(shù)的超聲波流量傳感器,與傳統(tǒng)的壓電陶瓷(PZT)超聲波傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。微機(jī)械加工工藝的進(jìn)步,利用異質(zhì)集成技術(shù),將傳感元件和電子調(diào)節(jié)元件集成到MEMS元件中,體積、功耗和成本得到大幅降低,減少了器件之間的互連,干擾得到有效抑制,可以獲得更快的響應(yīng)和更緊湊的產(chǎn)品設(shè)計(jì),對(duì)緩慢流速流體的測(cè)量穩(wěn)定性、準(zhǔn)確性具有更好的表現(xiàn)。
· 微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,簡(jiǎn)稱(chēng):MEMS)是指可批量制作的集微型傳感器、執(zhí)行器、機(jī)械結(jié)構(gòu)、電源能源、信號(hào)處理、控制電路、高性能電子集成器件、接口、通信等于一體的微米或納米級(jí)器件或系統(tǒng)。
· 基于MEMS技術(shù)的超聲波流量傳感器,與傳統(tǒng)的壓電陶瓷超聲波傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化的特點(diǎn)。


